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Publicado
2010-07-01
XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE
Palabras clave:
PAPVD, XPS, chemical composition, stoichiometry, depth profiles. (es)Descargas
TiN/TiC Bilayers were grown on 304 stainless steel substrates using physical vapour deposition assisted by pulsed arc plasma system (PAPVD) at two substrate temperatures (50º C and 150º C). X ray photoelectron spectroscopy (XPS) was used to analyze the chemical composition by observing the behaviour of the Ti2p, N1s and C1s lines. Binding energy analysis confirmed TiN and TiC formation. The C1s and Ti2p peaks shifted with increasing XPS sputtering time, thus revealing hydrocarbides contamination. Furthermore, depth profiles of the TiN/TiC bilayers showed that the films grown at a substrate temperature of 150º C had a thicker TiN layer than the samples grown at 50º C. Nitrogen had diffused into the TiC layer and carbon into the TiN layer in both films.
Cómo citar
IEEE
[1]
E. RESTREPO PARRA, P. J. ARANGO ARANGO, y V. J. BENAVIDES PALACIO, «XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE», DYNA, vol. 77, n.º 163, pp. 64–74, jul. 2010.
ACM
[1]
RESTREPO PARRA, E., ARANGO ARANGO, P.J. y BENAVIDES PALACIO, V.J. 2010. XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE. DYNA. 77, 163 (jul. 2010), 64–74.
ACS
(1)
RESTREPO PARRA, E.; ARANGO ARANGO, P. J.; BENAVIDES PALACIO, V. J. XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE. DYNA 2010, 77, 64-74.
APA
RESTREPO PARRA, E., ARANGO ARANGO, P. J. y BENAVIDES PALACIO, V. J. (2010). XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE. DYNA, 77(163), 64–74. https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538
ABNT
RESTREPO PARRA, E.; ARANGO ARANGO, P. J.; BENAVIDES PALACIO, V. J. XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE. DYNA, [S. l.], v. 77, n. 163, p. 64–74, 2010. Disponível em: https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538. Acesso em: 25 abr. 2024.
Chicago
RESTREPO PARRA, ELISABETH, PEDRO JOSE ARANGO ARANGO, y VICENTE JAVIER BENAVIDES PALACIO. 2010. «XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE». DYNA 77 (163):64-74. https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538.
Harvard
RESTREPO PARRA, E., ARANGO ARANGO, P. J. y BENAVIDES PALACIO, V. J. (2010) «XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE», DYNA, 77(163), pp. 64–74. Disponible en: https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538 (Accedido: 25 abril 2024).
MLA
RESTREPO PARRA, E., P. J. ARANGO ARANGO, y V. J. BENAVIDES PALACIO. «XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE». DYNA, vol. 77, n.º 163, julio de 2010, pp. 64-74, https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538.
Turabian
RESTREPO PARRA, ELISABETH, PEDRO JOSE ARANGO ARANGO, y VICENTE JAVIER BENAVIDES PALACIO. «XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE». DYNA 77, no. 163 (julio 1, 2010): 64–74. Accedido abril 25, 2024. https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538.
Vancouver
1.
RESTREPO PARRA E, ARANGO ARANGO PJ, BENAVIDES PALACIO VJ. XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE. DYNA [Internet]. 1 de julio de 2010 [citado 25 de abril de 2024];77(163):64-7. Disponible en: https://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/25538
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