Published

2014-08-01

CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical

CARACTERIZATION OF THIN FILMS BY X’Pert-PRO PANalytical DIFRACTOMETER

Keywords:

Película delgada, Difracción de rayos-X de haz rasante, reflectividad de rayos-X. (es)
Thin films, grazing incidence X-ray diffraction, X-ray reflectivity (en)

Authors

  • Jhonny Tolosa GSEC (Grupo de Superficies Electroquímica y Corrosión) , Escuela de Física Universidad Pedagógica y tecnológica de Colombia
  • César A. Ortiz GSEC (Grupo de Superficies Electroquímica y Corrosión) , Escuela de Física Universidad Pedagógica y tecnológica de Colombia

En este trabajo, se describe la caracterización estructural de películas delgadas empleando un equipo convencional de difracción de rayos-X, X’PERT PRO PANalytical. Se incluye una breve revisión teórica de las técnicas de difracción y reflectividad de rayos –X. En la parte experimental  se determinaron las condiciones necesarias para el montaje de las muestras en el equipo, empleando las configuraciones de incidencia rasante y de reflectividad de rayos-X. Se analizaron 11 muestras diferentes de película delgada y los resultados de espesor y de parámetro de red se obtuvieron mediante los programas X’pert Reflectivity y X´pert HighScore Plus respectivamente. Los resultados obtenidos sugieren la viabilidad de emplear un equipo convencional de rayos-X para la caracterización de películas delgadas.

In this work, the structural characterization of thin films using a conventional diffraction equipment, brand X'Pert PRO PANalytical X-rays is described. A brief review of the theoretical diffraction techniques and X-ray reflectivity is included. In the experimental part the conditions necessary for the assembly of the samples were determined on the computer using the settings grazing incidence and X-ray reflectivity. 11 different thin film samples were tested and the results of thickness and lattice parameter were obtained by the X'Pert HighScore Plus and X'pert Reflectivity programs respectively. The results suggest the feasibility of using a conventional X-ray equipment for the characterization of thin films.

How to Cite

APA

Tolosa, J. and Ortiz, C. A. (2014). CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical. MOMENTO, (48E), 38–51. https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541

ACM

[1]
Tolosa, J. and Ortiz, C.A. 2014. CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical. MOMENTO. 48E (Aug. 2014), 38–51.

ACS

(1)
Tolosa, J.; Ortiz, C. A. CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical. Momento 2014, 38-51.

ABNT

TOLOSA, J.; ORTIZ, C. A. CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical. MOMENTO, [S. l.], n. 48E, p. 38–51, 2014. Disponível em: https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541. Acesso em: 29 mar. 2024.

Chicago

Tolosa, Jhonny, and César A. Ortiz. 2014. “CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical”. MOMENTO, no. 48E (August):38-51. https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541.

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Tolosa, J. and Ortiz, C. A. (2014) “CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical”, MOMENTO, (48E), pp. 38–51. Available at: https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541 (Accessed: 29 March 2024).

IEEE

[1]
J. Tolosa and C. A. Ortiz, “CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical”, Momento, no. 48E, pp. 38–51, Aug. 2014.

MLA

Tolosa, J., and C. A. Ortiz. “CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical”. MOMENTO, no. 48E, Aug. 2014, pp. 38-51, https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541.

Turabian

Tolosa, Jhonny, and César A. Ortiz. “CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical”. MOMENTO, no. 48E (August 1, 2014): 38–51. Accessed March 29, 2024. https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541.

Vancouver

1.
Tolosa J, Ortiz CA. CARACTERIZACION DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE EL DIFRACTOMETRO X’Pert-PRO PANalytical. Momento [Internet]. 2014 Aug. 1 [cited 2024 Mar. 29];(48E):38-51. Available from: https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/45541

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