Publicado

2014-05-01

Characterization of adherence for Ti6Al4V films RF magnetron sputter grown on stainless steels

Caracterización de la adherencia para películas de Ti6Al4V depositadas por medio de pulverización catódica magnetrón RF sobre acero inoxidable

DOI:

https://doi.org/10.15446/dyna.v81n185.38019

Palabras clave:

Thin films, Nanostructures, Biomaterials, RF-Magnetron sputtering (en)
Películas delgadas, Nanoestructuras, Biomateriales, Pulverización catódica magnetrón rf (es)

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Autores/as

  • Carlos Mario Garzón Universidad Nacional de Colombia - Sede Bogotá
  • José Edgar Alfonso Universidad Nacional de Colombia - Sede Bogotá
  • Edna Consuelo Corredor Universidad Libre de Colombia
Ti6Al4V films were grown on UNS S31600 austenitic stainless steel samples by RF magnetron sputtering. On top of samples, macroindentation tests were carried out to characterize the film to substrate adherence according to the recommended VDI 3198 procedure. Sputter deposition experiments varying both chamber pressure and target applied power were carried out. All films displayed superior adhesion to the substrates. A non-monotonic relationship between adherence and chamber pressure or target applied power was observed. The lowest adherences were associated with intermediate pressures and powers. The outstanding film to substrate adherence was mainly addressed to monophasic and nanometric film character (crystallite size was roughly 20 ± 10 nm) and to rather high continuity and homogeneity of films.
El acero inoxidable UNS S31600 fue recubierto con películas de la aleación Ti6Al4V, por medio de la técnica pulverización catódica magnetrón rf. La superficie de los materiales obtenidos se sometió a ensayos de macroindentación, de acuerdo con el procedimiento VDI 3198, para caracterizar la adherencia película-sustrato. Se realizaron experimentos de depósito variando tanto la presión del gas al interior de la cámara de depósito como la potencia aplicada al blanco. La adherencia película-sustrato varío no monotónicamente con la presión y la potencia; la menor adherencia se observó para las presiones y las potencias intermedias. En términos generales se observó una excelente adherencia película-sustrato, la cual se atribuyó principalmente al carácter nanométrico de los cristalitos de las películas (diámetro promedio alrededor de 20 ± 10 nm), a su carácter monofásico y a su elevado grado de uniformidad tanto química como morfológica.

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Cómo citar

[1]
“Caracterización de la adherencia para películas de Ti6Al4V depositadas por medio de pulverización catódica magnetrón RF sobre acero inoxidable”, DYNA, vol. 81, no. 185, pp. 175–181, May 2014, doi: 10.15446/dyna.v81n185.38019.

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