Publicado

2015-03-01

A reconstruction of objets by interferometric profilometry with positioning system of labeled target periodic

DOI:

https://doi.org/10.15446/dyna.v82n190.42616

Palabras clave:

profilometry, optical metrology, surface topography, Mirau interferometer. (es)

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Autores/as

  • Néstor Alonso Arias-Hernández UNIVERSIDAD DE PAMPLONA
  • Martha Lucía Molina Prado UNIVERSIDAD DE PAMPLONA
  • Jaime Enrique Meneses Fonseca UNIVERSIDAD INDUSTRIAL DE SANTANDER
A method to extract 3D information using a white light interferometer without using PZT is presented. Instead a positioning system that uses the phase sensitivity of a target periodic is employed. The image treatment realized on the periodic target permits to calculate the relative distance between Mirau objective and object surface. Topographic reconstructions of objects with dimensions of some tenths of millimeters were calculated with an accuracy of approximately 28 nanometers. Theoretical analysis and experimental results are shown.

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